大倉電気は急速な技術革新が進む中、培ってきた技術をベースに高品質で信頼性のある製品を提供し、豊かな社會の実現に向け貢獻していきます。
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DF1000
橫型拡散爐
●フットプリント(4段爐の標準寸法)
4インチ:W1850×D700×H2150
5インチ:W2180×D850×H2395
6インチ:W2300×D850×H2395
8インチ:W2650×D1200×H2580
●4~8インチウェハ対応
DF1600
縦型熱処理爐
●昇溫レート100°C、降溫レート50°C
●小型省フットプリント
(W900×H2200×D1980)
●ミニバッチ対応
●4~8インチウェハ対応
DF2600
縦型熱処理爐
●裝置高さ2600mm
●小型省フットプリント
(W900×H2600×D1280)
●4~8インチウェハ対応
●高溫(1300°C)対応
ヒータ監視システム
マニュアル移載機
ボートエレベータ
ボートローダ
ソフトローダ
インライン移載機
ガス制御裝置
コンポーネント機器
熱処理爐のリニューアル
DP2501B
ディジタルプロファイラ
●自動校正機能
●熱電対校正値補正機能
●定期校正機能
●ペーパレス化可能
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受付時間 9:30~17:00 ※土日祝を除く
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